Chinas CXMT erreicht 11,95-nm-DRAM ohne ASMLs EUV-Werkzeuge
CXMT erklärte am 20. September 2026, seine DRAM-Plattform der fünften Generation sei in der Massenproduktion und erreiche mit Vierfach-Patterning einen 11,95-nm-Halbspalt ohne EUV.
By TPW Editorial7 Min. Lesezeit